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ITO薄膜的特性及用途
集萃絲印特印網  2021-08-19 00:00:00

    【集萃網觀察】

ITO薄膜是一種n型半導體材料,具有高的導電率、高的可見光透過率、高的機械硬度和良好的化學穩定性。它是液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)、電致發光顯示器(EL/OLED)、觸摸屏(TouchPanel)、太陽能電池以及其他電子儀表的透明電極最常用的薄膜材料。

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ITO薄膜具有復雜的立方鐵錳礦結構,其特性主要有:

(1)導電性能好(電阻率可低達10-4Ω·cm),帶隙寬3.5~4.3eV,載流子濃度(1021cm-3)和電子遷移率(15~45cm2V-1s-1)較高;

(2)在可見光波段透過率,可達85%以上;

(3)對紫外線的吸收率較高,可達85%以上;

(4)對紅外線具有反射性,反射率高于80%;

(5)對微波具有衰減性,衰減率可達85%以上;

(6)膜層硬度高,耐磨,耐化學腐蝕(氫氟酸等除外);

(7)膜層具有很好的酸刻、光刻性能,便于細微加工,可以被刻蝕成不同的電圖案。

隨著顯示器件行業的飛速發展,對ITO薄膜的產品性能特性提出了新的要求。同時ITO薄膜制備技術的深入發展,使顯示器件的需要變成可能。不同性能的ITO薄膜可以在不同顯示器件中的應用。

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